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Original title:
Spatio-temporal pattern formation during the anodic electrodissolution of silicon in ammonium fluoride solution
Translated title:
Raumzeitliche Musterbildung bei der anodischen Elektrooxidation von Silizium in Ammoniumfluoridlösung
Author:
Miethe, Iljana
Year:
2010
Document type:
Dissertation
Faculty/School:
Fakultät für Physik
Advisor:
Krischer, Katharina (Prof. Dr.)
Referee:
Brandt, Martin S. (Prof. Dr.)
Language:
en
Subject group:
PHY Physik
Keywords:
Nonlinear Dynamics, Pattern Formation, Semiconductor Electrochemistry, Silicon, Oscillations
Translated keywords:
Nichtlineare Dynamik, Musterbildung, Halbleiterelektrochemie, Silizium, Oszillationen
Abstract:
The positively polarized silicon|oxide|electrolyte interface of n-type and p-type silicon was investigated in the oscillatory domain. An ellipsometric microscope was built that allowed the oxide layer thickness during the electrodissolution in fluoride containing electrolyte to be imaged in situ. The analysis of the spatially averaged system revealed that the oscillations emerge in a Hopf bifurcation, which in combination with the dependency of the etch rate on the electrical field formed the ba...     »
Translated abstract:
Die positiv-polarisierte Silizium|Oxid|Elektrolyt-Grenzfläche von n-dotiertem und p-dotiertem Silizium wurde im oszillierenden Parameterbereich untersucht. Um die Oxidschichtdickendynamik bei anodischer Elektrooxidation in flusssäurehaltiger Elektrolytlösung in-situ abbilden können, wurde ein ellipsometrisches Mikroskop aufgebaut. Die Analyse des räumlich gemittelten Systems zeigte die Entstehung von Oszillationen aus einer Hopf-Bifurkation, die zusammen mit der Abhängigkeit der Ätzrate vom elek...     »
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=966027
Date of submission:
25.02.2010
Oral examination:
23.04.2010
Pages:
142
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20100423-966027-1-8
Last change:
21.05.2010
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