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- Originaltitel:
- Integrierte, siliziumbasierte, miniaturisierte Pumpen und Strömungssensoren für mobile mikrofluidische Systeme
- Übersetzter Titel:
- Integrated silicon-based miniaturized pumps and flow sensors for mobile microfluidic systems
- Autor:
- Seidl, Martin
- Jahr:
- 2023
- Dokumenttyp:
- Dissertation
- Fakultät/School:
- TUM School of Computation, Information and Technology
- Institution:
- Technische Elektrophysik (Prof. Schrag komm.)
- Betreuer:
- Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.)
- Gutachter:
- Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.); Hagelauer, Amelie (Prof. Dr.)
- Sprache:
- de
- Fachgebiet:
- ELT Elektrotechnik
- Stichworte:
- Mikrotechnik, Pumpe, Anemometer, Strömungssensor
- Übersetzte Stichworte:
- microtechnology, pump, anemometer, flow sensor
- TU-Systematik:
- ELT 200
- Kurzfassung:
- In dieser Arbeit werden integrierte, siliziumbasierte Mikropumpen und darauf abgestimmte, miniaturisierte Strömungssensoren von Grund auf neu konzeptioniert und entwickelt. Die Entwicklungsphase wird durch virtuelle Produktentwicklung und durch die Adaptierung vorhandener Fertigungsprozesse beschleunigt. Nach der Entwicklung geeigneter Prüfstände können durch experimentelle Charakterisierung die Vorteile der Mikropumpen und Strömungssensoren gegenüber dem Stand der Technik nachgewiesen werden.
- Übersetzte Kurzfassung:
- In this work, integrated silicon-based micropumps and matched miniaturized flow sensors are conceptualized and developed from scratch. The development phase is accelerated by virtual product development and by adapting existing manufacturing processes. After the development of suitable test rigs, the advantages of the micropumps and flow sensors compared to the state of the art can be demonstrated by experimental characterization.
- WWW:
- https://mediatum.ub.tum.de/?id=1713917
- Eingereicht am:
- 28.06.2023
- Mündliche Prüfung:
- 03.11.2023
- Dateigröße:
- 52785110 bytes
- Seiten:
- 143
- Urn (Zitierfähige URL):
- https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20231103-1713917-1-1
- Letzte Änderung:
- 17.11.2023
BibTeX
Vorkommen:
- mediaTUM GesamtbestandElektronische PrüfungsarbeitenSchoolTUM School of Computation, Information and TechnologyElectrical Engineering
- mediaTUM GesamtbestandHochschulbibliographie2023Schools und FakultätenTUM School of Computation, Information and TechnologyProfessur für Microsensors and Actuators (Prof. Schrag)