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Institut für Chemie Anorganischer Materialien (Prof. Veprek)
1989
record00115
Autor(en):
VEPREK, S
Titel:
CONTROVERSIES IN THE SUGGESTED MECHANISMS OF PLASMA-INDUCED DEPOSITION OF SILICON FROM SILANE
Zeitschriftentitel:
THIN SOLID FILMS
Jahr:
1989
Band / Volume:
175
Seitenangaben Beitrag:
129-139
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Vorkommen:
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Einrichtungen
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TUM School of Natural Sciences
Ehemalige Einrichtungen
Institut für Chemie Anorganischer Materialien (Prof. Veprek)
1989
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